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OHT(OVERHEAD HOIST TRANSPORT)

产品特性 AMHS 系统的搬送单元主要有搬送车辆 OHT和轨道组成,故 AMHS系统也俗称为“天车系统”。OHT 在轨道下方运行,可以为 FAB 厂节约更多空间 ; 到达目的地后,OHT 通过控制机械手臂抓取 FOUP,使“Tools to Tools”的搬送更加智能。
0573-85286668
产品详情

HIMC自2016年开始自主研发OHT,目前已自主迭代至第四代。HIMC天车不仅已通过SEMI认证,更通过实际运行积累了海量“负载量产”数据,核心性能匹配日系友商,可靠性、稳定性亦取得客户认证,不仅具备标准12寸FAB厂的设计安装交付经验,也具备给低天花板的厂房及旧厂房进行改造的经验。




项目
HIMC
稳定性MTBF≥2000hr
URTIME≥99.999%
MTTR≤10min
安全性阻燃等级所有原辅物料选型满足半导体晶圆厂对阻燃等级的规范标准
静电防护静电防护符合SEMI规范
天车及FOUP防护具有防碰撞保护、距离检测、碰撞紧急停止机制、障碍物检测、防止坠落保护、晃动检测、夹持精准度检测等多重防护及报警措施
定制开发
6'、8'、12'多种尺寸Wafer客制化开发,AMHS全系统产品定制化搭配研发交付