华芯(嘉兴)智能装备有限公司
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SORTER
产品特性
Sorter 是用于半导体制造的过程设备,通过设备内部的微环境保证倒片过程的洁净要求,实现 Wafer 的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序、料盒交换等。
EFEM
产品特性
EFEM(Equipment Front End Module)主要用于实现半导体设备晶圆的自动供给和卸载。
LOAD PORT
产品特性
Load Port 是安装在 Sorter/EFEM 前端的接口模块,是晶圆进出设备的通道可通过与AMHS系统集成实现全自动化。
销售热线:
0573-85286668
采购热线:0573-89500738
人力热线:0573-89500916
销售部:sales@hxamhs.com
市场部:
mkt@hxamhs.com
人力资源部:
hr@hxamhs.com
供应链中心:
scm@hxamhs.com
联系地址:【总部】
浙江省嘉兴市平湖市
钟埭街道智创园G&C3
【分部】上海市浦东新区海基六路218弄14号楼
【分部】武汉市光谷物联港1栋B座1903室
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