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产品特性 Sorter 是用于半导体制造的过程设备,通过设备内部的微环境保证倒片过程的洁净要求,实现 Wafer 的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序、料盒交换等。
0573-85286668
产品详情

HIMC的Sorter适用于 12寸和8寸的晶圆传输,不仅能根据客户需求进行包括双臂/单臂洁净机器人、双面读码等定制化配置,满足高WPH需求,还兼具低运营维护成本优势。




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•   适用于 6~12寸多种材质的晶圆传输

•   2~8 Port配置,多种洁净机器人选项可满足不同的WPH需求

•   类型丰富的定制 End Effector 可处理薄片、厚片、Taiko片、翘曲片等非标准晶圆

•   支持翻面、双面读码等特殊要求,可搭配检量测单元,实现一机多用

•   成熟稳定的的控制软件,支持 SECS/GEM、E84、RFID 等标准协议和技术

•   占地面积小,极低的运营维护成本

•   SEMI-S2认证,高可靠性、高可用性,优良的洁净度和防静电性能