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产品特性 HIMC为客户提供Lifter及Tower Lifter,通过Lifter实现FAB厂楼层之间的传输,内置的LFTC可实现与MCS的交互。
0573-85286668
产品详情

HIMC为客户提供Lifter及Tower Lifter,通过Lifter实现FAB厂楼层之间的传输,内置的LFTC可实现与MCS的交互。




项目
HIMC

最大载荷(kg)

20kg/单一储位

升降速度

20m/min
升降加减速0.75m/s²
升降行程可自定义
传输速度0.3m/s
洁净度Class100
振动<1.0G