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产品特性 Load Port 是安装在 Sorter/EFEM 前端的接口模块,是晶圆进出设备的通道可通过与AMHS系统集成实现全自动化。
0573-85286668
产品详情

HIMC自研的Load Port具备高度可靠性、安全性,可最大程度实现交互操作性,兼容范围广,易于配置,同时在搬运过程中可有效保持wafer的洁净度。




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•   符合SEMI 标准,兼容标准FOUP/FOSB,通过定制转接板可支持多种 Cassette

•   具备料盒在位检测、凸片检测等安全功能

•   对射式高速 Mapping 功能,可检测晶圆斜插/叠片等异常

•   便捷的安装和定位方式,BOLTS 标准接口容易调整高度和水平

•   支持料盒种类自动识别,支持 RFID,E84,以太网通信

•   SEMI-S2认证,高可靠性、高可用性,优良的洁净度和防静电性能