华芯智能以AMHS为核心,为客户提供半导体智能制造解决方案
关于AMHS
AMHS 系统可以在洁净环境中实现复杂工艺间的无人自动搬送,提升搬送效率的同时确保品质和良率,因此,AMHS是先进制程晶圆厂大规模量产,提高生产效率的优先选择, 被广泛应用于8/12inch 硅片制造、芯片制造、先进封装等各种半导体制造工序中。
华芯智能自2016年即专注于半导体AMHS的迭代研发,自2018年开始导入客户,积累了丰富的商用量产和半导体前道、封测领域的定制化实践经验。作为国内AMHS领域的先行者,华芯率先自主掌握了AMHS的关键性技术,当前天车产品已迭代至第四代,并围绕泛半导体工厂自动化解决方案,构建了完善的软硬件产品矩阵及高效可靠的交付体系。
围绕半导体Fab物料传送的核心需求,华芯智能为客户构建智慧生产力
Sorter / EFEM / Load port
Sorter(晶圆分选机)和EFEM(Equipment Front End Module,设备前端模块)都是用于半导体制造晶圆搬运的设备,负责wafer的中转和分选,确保生产流程的连续性和高效性,保障晶圆厂物料流转需求。主要客户包括半导体晶圆制造厂、设备制造商等。