Stocker

HIMC的Stocker具备可靠的安全设计和碰撞保护功能，能有效保护FOUP、晶圆、人身安全。标准的SEMI接口，可有效对接MCS系统，同时可根据客户的要求，定制功能及尺寸。同时公司为客户提供NTB（机台缓冲存储设备）、OHB（空中缓存站）等独立或与天车系统进行物理交互的缓存设备，根据客户具体情况提供不同形式、规格的自动存储方案，有效提升FAB厂的空间利用率和传送效率。