HIMC的Stocker具备可靠的安全设计和碰撞保护功能,能有效保护FOUP、晶圆、人身安全。标准的SEMI接口,可有效对接MCS系统,同时可根据客户的要求,定制功能及尺寸。同时公司为客户提供NTB(机台缓冲存储设备)、OHB(空中缓存站)等独立或与天车系统进行物理交互的缓存设备,根据客户具体情况提供不同形式、规格的自动存储方案,有效提升FAB厂的空间利用率和传送效率。
项目 | HIMC | |
最大载荷 | 20KG | |
存储量 | 400~ | |
吞吐量 | 150UPH | |
搬运机构Crane | 2轴机械手臂+走行轴+升降轴 | |
电源 | 3相200~220V/380V AC | |
Crane取电方式 | 非接触式供电/集电轨/坦克链 | |
走行 | 最大速度2m/s | |
升降 | 最大速度2m/s | |
安全 | 安全措施符合SEMI标准 | |
振动 | ≤0.5G | |
噪音 | 噪音水准80DB(ARENG)之下 |