华芯(嘉兴)智能装备有限公司
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OHT(OVERHEAD HOIST TRANSPORT)
产品特性
AMHS 系统的搬送单元主要有搬送车辆 OHT和轨道组成,故 AMHS系统也俗称为“天车系统”。OHT 在轨道下方运行,可以为 FAB 厂节约更多空间 ; 到达目的地后,OHT 通过控制机械手臂抓取 FOUP,使“Tools to Tools”的搬送更加智能。
Stocker
产品特性
Stocker系半导体工厂的自动保管仓库,具备多层存放空间,主要用于半导体工厂的FOUP自动化搬送、存储,实现晶圆在工艺之间的流转。
Lifter
产品特性
HIMC为客户提供Lifter及Tower Lifter,通过Lifter实现FAB厂楼层之间的传输,内置的LFTC可实现与MCS的交互。
销售热线:
0573-85286668
采购热线:0573-89500738
人力热线:0573-89500916
销售部:sales@hxamhs.com
市场部:
mkt@hxamhs.com
人力资源部:
hr@hxamhs.com
供应链中心:
scm@hxamhs.com
联系地址:【总部】
浙江省嘉兴市平湖市
钟埭街道智创园G&C3
【分部】上海市浦东新区海基六路218弄14号楼
【分部】武汉市光谷物联港1栋B座1903室
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