产品详情
HIMC的Sorter适用于 12寸和8寸的晶圆传输，不仅能根据客户需求进行包括双臂/单臂洁净机器人、双面读码等定制化配置，满足高WPH需求，还兼具低运营维护成本优势。
产品特性：
• 适用于 6～12寸多种材质的晶圆传输
• 2～8 Port配置，多种洁净机器人选项可满足不同的WPH需求
• 类型丰富的定制 End Effector 可处理薄片、厚片、Taiko片、翘曲片等非标准晶圆
• 支持翻面、双面读码等特殊要求，可搭配检量测单元，实现一机多用
• 成熟稳定的的控制软件，支持 SECS/GEM、E84、RFID 等标准协议和技术
• 占地面积小，极低的运营维护成本
• SEMI-S2认证，高可靠性、高可用性，优良的洁净度和防静电性能