产品详情
HIMC自研的Load Port具备高度可靠性、安全性，可最大程度实现交互操作性，兼容范围广，易于配置，同时在搬运过程中可有效保持wafer的洁净度。
产品特性：
• 符合SEMI 标准，兼容标准FOUP/FOSB，通过定制转接板可支持多种 Cassette
• 具备料盒在位检测、凸片检测等安全功能
• 对射式高速 Mapping 功能，可检测晶圆斜插/叠片等异常
• 便捷的安装和定位方式，BOLTS 标准接口容易调整高度和水平
• 支持料盒种类自动识别，支持 RFID，E84，以太网通信
• SEMI-S2认证，高可靠性、高可用性，优良的洁净度和防静电性能